Q&A
疑難問答
About UPT 關於聯純
關於超純水
水經由河川、湖泊等各處流過地表,或深處於地底下,因溶解作用,而含許多雜質如礦物質、有機物、微生物、淤泥及氣體等。一般水中的雜質可大約分類如下:
- 懸浮固體(S.S.):如泥土、砂石及金屬氧化物等。
- 可溶解之固體 ( TDS ):如Ca. Mg. Na. K. Fe. HCO3. NO3. SO4. SiO2等。
- 有機物:所有含碳物質如油脂、污水、溶劑、動植物屍體等。
- 微生物:如各種細菌、黴菌、藻類、熱原及病毒等。
- 溶解氣體:氣體的溶解與週遭環境如氣壓、溫度、PH等有一定的關係,一般水中都含有二氧化碳、氧氣、氮氣及其他氣體。
以下以一般自來水(新竹地區)與現今要求最嚴格的半導體、晶圓廠使用的純水做比較:
自來水 | 超純水(256MB) | |
電阻, MΩ-CM | 0.004 | >18.2 |
顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.1μm | 104~106 | – |
顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.05μm | – | – |
顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.03μm | – | <5 |
細菌, con/ml | 104~106 | <0.0001 |
總有機碳, ppb as TOC | 1,000~3,000 | <1 |
溶氧, ppb as O2 | 8,000 | <1 |
矽化物, ppb as SiO2 | 10,000~20,000 | <0.1 |
金屬, ppb | 200,000 | <1 |
常見的純化技術如下,至於什麼情況下應採用哪些技術,則必須依個案設計。
- 過濾:如多層過濾、活性 碳過濾、一般濾芯過濾、絕對濾芯過濾等。
- 加藥處理:如加酸、加鹼、加Na2SO3、除餘氯、加NaClO、混凝劑等。
- 超過濾:去除膠體、細菌等,有效降低SDI(<2)。由於是部份過濾(一邊過濾一邊排放),因此,不易堵塞,使用壽命長……。
- 逆滲透:採單段或二段式,有效去除離子、細菌、有機物、膠體等。
- 電解連續去離子:如CDI(EDI),不需使用酸、鹼再生,不需停機,連續運轉。
- 脫氣:去除水中二氧化碳等。
- 真空脫氧:主要針對去除水中溶氧,一般塔高需10m。
- 薄膜脫氣:利用薄膜及氣體分壓原理去除水中氣體,如溶氧、CO2、N2、VOC等。
- 離子催化脫氧:利用H2與O2,經離子交換樹脂催 化作用產生H2O以脫除O2。
其反應式: 8 g O2+ 1 g H2→9 g H2O。 - 紫外線光分解有機物:利用185nm的紫外線光進行光氧化,釋放OH(離子,打斷TOC碳鍵,而降低TOC含量,其副產物CO2將由其後段的不再生混床來吸收。
- 紫外線光滅菌:利用254nm的紫外線光,來破壞細菌的DNA抑制繁殖,一般而言,其去除率可達到99.9%以上。
- 對於上述的各種技術,在實際設計及安裝上,我們有相當熟練的技術及經驗,尤其在整體的設計安排上,能達到系統的最佳化。也就是經濟、穩定、效率佳、壽命長。
系統規劃
以下是我們在設計規劃系統時考慮的重點:
- 如何有效運用設備,並掌握關鍵因素,結合累積的經驗,做最正確的判斷與運用。
- 系統的控制,必需達到操作容易,維修方便,運轉零故障 (良好的緊急應變措施,使造水不斷)。
- 純水的製造過程,會有廢水排出。如何提高回收率,節省水源。是系統設計重要的指標。
- 兼顧品質的情況下,降低客戶的操作成本。
- 系統的擴充性 ,也是重要因素。在規劃設計的開始,就應全盤考慮將來擴充的設計量與便利性,才能提高系統的附加價值,降低成本。
- 不斷追求更好的技術,並結合最新的科技。
- 永遠站在客戶的使用立場來思考問題。
在我們的設計中,RO膜的壽命一般都在五年以上,而RO膜之所以損壞不外下列幾個原因:
嚴重堵塞或結垢,無法有效清洗,在產水量不敷使用的情況下,必須更換新膜。
清洗頻繁,RO膜去除率降低,以致於水質差,影響後續的處理設備。由於RO膜本身很薄(約30um),只要稍有破洞,則去除率便立即降低,若經常使用酸、鹼來清洗,則更加速了去除率的衰退。依我們的設計,約莫半年~1年清洗一次即可。
被氧化物侵蝕,若水中含有氧化劑,如餘氯、臭氧等,在進入RO前均應<0.01ppm,否則極易造成損壞。
不當的壓力或壓降造成膜的擠壓,變形或破裂等,造成產水量不足,是為無法挽回之損壞,亦必須更換新膜。
CDI全名為Continuous Deionization;EDI全名為Electrodeionzation,其用途都是利用電解+離子交換樹脂的方式來去除水中的離子,尤其運用在RO(逆滲透)系統後去除水中微量的離子含Silica、TOC等。一般而言,其用途與傳統的混床離子交換樹脂相同,但是,這類的系統不需要停機再生,所以,不需使用酸、鹼再生,也沒有廢水排放的問題。將水質由0.05~0.1 MΩ-cm提升至15~18MΩ-cm(純水的電阻值為18.18MΩ-cm)。
CDI與EDI的原理大致相同,主要是品牌的不同,品質也有異差,而且穩定性亦差別很大。
CDI是美國US Filter的產品,約有10年的歷史,品質十分穩定;EDI則有IONICS、Glegg(E-cell)、Electropure等公司,各有不同的產品。目前在台灣,有些工程公司因為只重視成本問題,而大量採用不成熟的設計產品,導致水質不佳(1~5MΩ-cm),系統不穩定等種種的問題,因而造成純水系統無法驗收的窘狀處處可見。
早在6年前,我們就已深入接觸這方面的技術,並有成功安裝數十套該設備的經驗,也深入了解關鍵問題的所在,若讀者有這方面的問題,歡迎更進一步洽詢。